深圳路維光電股份有限公司

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    大尺寸光罩

    主要應用領域: 1.TFT LCD、OLED等顯示面板行業; 2.TP觸控屏行業; 3.FPC/PCB線路板行業。

    1. 詳細信息

    鉻版精度(Standard Size:430mmx430mm)

    精度/級別

    最高精度

    高精度

    中精度

    一般精度

    最小線寬/線縫

    0.75μm/0.75μm

    5μm/5μm

    10μm/10μm

    20μm/20μm

    線條精度

    ±0.08μm(QZ)

    ±0.5μm

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    總長精度

    ±0.3μm(QZ)

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    ±2.0μm

    圖形位置精度

    ±0.3μm(QZ)

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    ±3.0μm

    套合精度

    ±0.3μm(QZ)

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    ±3.0μm

    鉻版材料 (Photomask blank phate)

    材料

    Soda Lime GlassQuartz

    最大尺寸

    1620mm*1780mm

    常規尺寸

    420mmx520mm,520mm*610mm,520mm*800mm,700mm*800mm,

    800mm*920mm,800mm*960mm,850mm*1200mm,850mm*1400mm,

    1220mm*1400mm,1220mm*1650mm,1620mm*1780mm

    厚度

    2.3±0.2mm,3.0±0.2mm,4.8±0.2mm,7.8±0.2mm,

    5.0±0.2mm(QZ),8.0±0.2mm(QZ),10.0±0.2mm(QZ),

    13.0±0.2mm(QZ),15.0±0.2mm(QZ),17.0±0.2mm(QZ)

    鉻膜

    Low Reflectance Chrome

    光學密度(λ=450nm)

    Between Plates3.0±0.3In Plate±0.3

    反射率(λ=436nm)

    Between Plates10±5%In Plate±2%

     


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